电子厂在生产过程中,如印制电路板(PCB)制造、半导体加工、电子元器件电镀及金属酸洗工序,会产生含有盐酸雾(HCl)、硫酸雾(H₂SO₄)、硝酸雾、氢氟酸(HF)及碱性气体(NH₃、NaOH蒸汽)的酸碱废气。这类废气具有强腐蚀性、水溶性好、瞬时排放浓度高的特点。绿东环保采用酸雾净化塔(酸雾处理塔),通过酸碱中和喷淋技术,对电子厂产生的酸碱废气进行高效净化,确保达标排放。
一、电子厂酸洗酸碱废气来源及危害
主要来源于印制电路板(PCB)生产线的蚀刻、酸洗、电镀工序挥发的盐酸雾和硫酸雾;半导体芯片制造过程中扩散、清洗工序产生的酸碱废气;电子元器件电镀生产线产生的铬酸雾和氰化氢气体;金属表面处理工序酸洗槽挥发的混合酸性气体;化学实验室及化验室排风系统收集的各类酸碱废气。
这些酸碱废气具有强烈的腐蚀性和刺激性。酸性气体(如HCl、H₂SO₄)会严重腐蚀厂房的金属结构、电气设备和精密仪器,缩短设备寿命;长期吸入会损害操作人员的呼吸系统,引起慢性支气管炎、牙齿酸蚀症等职业病。碱性气体(如氨气)具有强烈刺激性气味,刺激眼部和呼吸道黏膜。同时,酸碱废气扩散到厂区外,会破坏周边生态环境,导致土壤酸化和植被损伤。
二、电子厂酸洗酸碱废气处理工艺
针对电子厂酸碱废气“水溶性好、腐蚀性强、浓度波动大”的特点,隆海盛达采用喷淋中和化学洗涤工艺实现废气的净化处理。
根据废气性质,酸性废气采用氢氧化钠(NaOH)溶液作为吸收中和液,浓度控制在2%-6%;碱性废气采用稀硫酸(H₂SO₄)或盐酸溶液作为吸收液。净化效率可达95%以上。
三、电子厂酸洗酸碱废气处理工艺说明
在电镀线、酸洗槽、蚀刻机等主要产污点设置密闭集气罩,通过耐腐蚀风机(玻璃钢材质)将废气负压抽送至酸雾净化塔。
四、电子厂酸洗废气净化设备优点
1、净化效率高:对盐酸雾、硫酸雾、硝酸雾、氢氟酸及氨气等多种酸碱废气净化效率可达95%以上,硫酸雾净化率可达93%-95%,盐酸雾净化率可达98%,硝酸净化率可达90%,处理后废气大大低于国家排放标准。
2、适用范围广:可同时处理多种混合酸碱废气,适用于PCB制造、半导体、电镀、电子元件、金属表面处理等众多电子相关行业。
3、运行稳定可靠:采用多级喷淋与填料层结合,气液接触充分,抗冲击负荷能力强,能适应电子厂生产波动导致的废气浓度变化。
4、耐腐蚀耐用:塔体采用FRP等耐腐蚀材料一体成型或分段制作,结构紧凑,强度高,使用寿命长,维护简便。
5、运行成本经济:吸收液循环使用,药剂消耗低;设备阻力小,能耗省;自动化程度高,操作管理方便。